俄罗斯仍有5台ASML光刻机可用!就是……太老了
俄乌冲突爆发以来,俄罗斯受到多个国家和地区的制裁,导致各类半导体芯片和设备的进口受到限制。这也迫使俄罗斯加大自研和本土制造芯片的投入,但在设备、材料等多方面仍将面临瓶颈。
不过,据外媒报道《The Insider》,俄罗斯仍然可以通过一些渠道从中国台湾进口硅片(半导体硅片)等产品。这些都是制造芯片所必需的原材料。
基于军事需求而建立的芯片制造能力自2022年2月俄乌冲突爆发以来,美国、欧盟、日本、新加坡、韩国、台湾、中国等地相继对俄罗斯半导体实施出口管制,希望减少俄罗斯的军事战斗力。
虽然俄罗斯本土缺乏生产高性能、商业上可行的微芯片的现代技术,但这并不意味着当地制造商不知道如何生产半导体芯体。老式的芯片生产技术早在苏联时代就已经开发出来了。例如,据光刻专业人士Denis Shamiryan介绍,俄罗斯公司Mikron已经掌握了大规模生产中的180nm技术和单件生产中的90nm技术。对于90nm工艺,Mikron使用意法半导体光刻设备。米克朗的民用产品仅限于银行卡和护照芯片,年产量达到40亿颗微芯片。
据Shamiryan 回忆,俄罗斯还计划在莫斯科地区泽列诺格勒的Angstrem-T 生产芯片,采用130 纳米和90 纳米技术。 2000年代末,Angstrem-T从AMD位于德累斯顿的Fab36工厂购买了一条完整的ASML生产线。
然而,这些计划从未实现,因为Angstrem-T 于2019 年宣布破产。然而,另一个位于泽伦格勒的实体名为Angstrem(放弃了T)生产一系列微芯片。
俄罗斯伊斯坎德尔导弹的Angstrem微芯片与西方芯片在同一主板上
沙米尔扬还指出,俄罗斯Rusnano集团旗下Crocus NanoElectronics工厂曾成功建立65nm制程,主要是为了生产MRAM內存,但它自己只能完成生产周期的一半,仍须依赖外国供应,但后来因为制裁该工厂被迫停业。俄罗斯现有的微芯片生产设施主要服务于军事需求。例如,俄罗斯芯片制造商Epiel 主要在莫斯科附近的泽列诺格勒开展业务,并将自己定位为俄罗斯芯片制造外延生长(epi) 工艺的领导者。
根据Epiel 最新的公开财务报表,该公司2020 年营收近700 万美元。
Epiel主要供应适直径为100mm、150mm和200mm的晶圆,当然目前最先进的现代技术采用的是300nm晶圆。
年内,Epiel 从俄罗斯工业和贸易部获得了数十万美元的政府合同,并向合资企业NZPP Vostok(“新西伯利亚半导体器件工厂”)供应加工晶圆,该工厂为最终用途制造商生产Ready-做了芯片。
根据最新的公共采购数据,NZPP Vostok积极与专门生产核武器的Rosatom实体K.a.Volodin仪器制造厂(联邦国家统一企业)合作。
NZPP Vostok的工厂仍在生产64Kb的存储芯片,至少直到最近,该工厂向雷宾斯克幸运设计局等军事公司出售了价值数百万卢布的芯片,该公司开发包括无人机在内的军事装备。
Epiel的另一个客户是沃罗涅日电子设备研究所,为被占领的克里米亚的Fiolent军工厂制造Volodin仪器,Sozvezdie Concern(为武装部队制造电子战和通信与控制设备)和Rosatom工厂提供产品。
现有记录还显示Epiel 和Pulsar 之间的合作,Pulsar 是一家前电子工厂,为军方生产微波设备、晶体管和微芯片。 Epiel 还履行了与N.L. 的合同。杜霍夫全俄自动化研究所,研发核弹头。
Epiel 的地址与Sitronics Smart Technologies 的地址相符,据说该公司是米克朗集团的一部分。此外,Epiel 还与米克朗和俄罗斯分子电子研究所共享办公空间。因此,可以合理地假设Epiel 属于同一集团公司。
俄罗斯制造的微芯片在武器中的具体应用包括1890VM6Ya处理器及其在战斗机Baguette飞行控制计算机中的变体。
S-300和Pantsir SAM系统采用俄罗斯Milandr生产的1645RU3U存储芯片
早在2011年,热门IT门户网站Habr上的一篇文章报道Milandr在180nm技术设备上制造的芯片用于俄罗斯战斗机和防空系统。俄罗斯国内芯片制造的流程似乎是这样的:首先,Epiel在进口晶圆上进行外延生长。 Mikron、NZPP Vostok、Pulsar 或电子设备研究所等公司随后使用这些半导体产品来制造即用型微芯片。据行业专家介绍,该过程可能包括将晶圆切割成单独的核心、连接引脚并“封装”它们。
尽管这些芯片相对于现代芯片(但俄罗斯武器制造商选择国产芯片而不是技术更先进的芯片,一方面是出于安全考虑,另一方面则是由于制程导致的供应问题。)而言大多已经过时,但由于这些芯片主要用于大型重型武器,因此最先进的电子设备所提供的小型化优势在很大程度上是无关紧要的。
俄罗斯目前有5台老式的ASML光刻机对于俄罗斯来说,自主芯片制造离不开半导体关键设备,尤其是光刻机。
目前,全球波长193nm(“深紫外”)DUV光刻机的主要供应商只有ASML、尼康和佳能,而能够提供波长13.5nm(“极紫外”、接近X 射线范围)。生产。
ASML发言人向The Insider证实,ASML公司从未向俄罗斯出售过大量设备。,自2014年以来,俄罗斯仅进口了价值5000万美元的ASML品牌光刻机。虽然5000万美元看起来很值,但它连一台EUV光刻机都没有购买。
ASML 声称俄罗斯只从第三国进口了拆除的旧设备的零件。和乌克兰出版物《真理报》 在很大程度上证实了这一评估。
据介绍,截至2022年,俄罗斯有五台波长范围为365至193纳米的ASML光刻机(均为PAS 5000系列)正在运行,分别位于俄罗斯系统分析科学研究所、Mapper、Zelenograd纳米技术中心和Mikron。
俄罗斯和乌克兰全面战争爆发后,台积电已停止代工俄罗斯芯片。为此,俄罗斯还不得不依赖现有的进口半导体设备来制造国产自研芯片。
虽然目前俄罗斯有五台ASML设备正在运作中,但这些设备非常过时,甚至已有15-20年历史。对此,ASML坚称不为俄罗斯光刻设备提供维修服务,但二级市场上仍有不少相关零部件流通,厂家无法掌控。
需要注意的是,除了制裁前进口的少数西方光刻机外,俄罗斯制造商还可以从明斯克的Planar工厂获得光刻机。这些光刻机的工作波长为350 nm,最小特征尺寸为500 nm,代表了1995 年出现但到1999 年已过时的技术。
半导体原材料供应俄罗斯自己的芯片制造的另一个问题是缺乏必要的半导体材料的本地供应商,例如半导体硅片和光掩模,必须依赖进口。尽管之前遇到了一些障碍,但俄罗斯仍然可以通过一些渠道购买这些产品。
根据俄罗斯海关内部数据,2023年俄罗斯总共进口了价值1.505亿美元的半导体相关产品(海关代码848620),用于生产微芯片和印刷电路板。买家名单包括民用实体,例如生产智能卡和芯片的Sitronics Smart Technologies 和生产太阳能电池板的Hevel、各种设备(包括受制裁商品)的经销商,以及为外围设备、非设备采购少量设备的组织。核心项目(如IT公司Craftech)。
虽然俄罗斯最大的硅片进口商是OOO Hevel,该公司2023年从中国进口了价值近700万美元的硅片,但这些硅片主要用于太阳能电池板。 Epiel是芯片制造所用半导体晶圆的最大进口商之一,2023年进口价值220万美元的半导体晶圆。该公司的许多终端用户都是军工企业,从2010年代初期开始全面入侵军工企业。乌克兰,其大部分供应商是亚洲和美国的实体。
但俄乌冲突爆发后,晶元不得不彻底改变供应商基础,从东南亚几大出口商采购半导体硅片。
从The Insider整理的清单来看,台湾企业排行科技也向其出口大量半导体硅片,且仅与少数俄罗斯和白俄罗斯实体有业务往来,可以直接从台湾向其运送半导体硅片。
自俄乌战争爆发以来,Pai Haung已以其品牌向俄罗斯和白俄罗斯销售了价值400万美元的半导体晶圆,但该品牌在网上没有知名度。 Insider认为,许多海关文件都将制造商指向另一家公司,即台湾的Wafer Works,因为这家公司在俄罗斯和乌克兰冲突爆发之前也是Epiel的供应商。
Insider认为,名不见经传的Pai Haung实际上并不生产半导体硅片,因此他在供应链中的角色仅限于转售中间商。
美国前财政部官员创办的数据公司Kharon发现,Pai Haung曾被美国DMS电子元件集团网站列为关联实体,但目前这一信息已从网站上消失。
Pai Haung首席执行官鲍永健在接受台湾媒体采访时表示,公司将严格遵守中国台湾地区的法律,不会与受制裁的公司开展业务。
目前总部位于俄罗斯泽伦格勒的Epiel 确实没有被列入美国、台湾或其他制裁名单,尽管它是俄罗斯军工最终使用的产品制造过程中不可或缺的一部分。
然而,Pai Haung的另一家客户AO VZPP Mikron(沃罗涅日半导体设备股份公司米克朗)却受到制裁。 2020 年,米克朗获得了一系列政府合同,开发电压高达1,200 伏的抗辐射齐纳二极管,这种二极管更有可能用于军事而不是民用。
Epiel第四大供应商是日本DX株式会社中国分公司。应《The Insider》要求,日本经济产业省送来违禁品清单,显示日本企业不得向俄罗斯出口硅片(代码381800)。
另一家Epiel 供应商DX Corporation 尚未对《The Insider》 的调查做出回应。管理层表示不知道DX 向俄罗斯发货的情况。