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中国刻刀来了！首台国产商业电子束光刻机“羲之”出炉：和EUV光刻机有何区别

快科技8月17日消息，据国内媒体报道，近日，全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在杭州城西科创大走廊的浙江...

光刻机电子束电子束光刻机

2025年08月17日
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