-
全国首个MOR核心技术 国产EUV光刻胶启动
快科技9月8日消息，EUV光刻机是制造5nm以下工艺的关键设备，同样重要的还有EUV光刻胶，现在无锡宣布国内首个掌握EUV光刻胶核心技术的平台启动了。 来自无锡政府网站的消息，9月4日2025集成电路（无锡）创新发展大...
-
我国科研团队完成新型光刻胶技术初步验证：为EUV光刻胶开发做技术储备
快科技4月2日消息，据湖北九峰山实验室官微消息，九峰山实验室、华中科技大学组成联合研究团队，支持华中科技大学团队突破“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”技术。 据介绍，该研究通过巧...